Advance/ParallelWave 光波解析への応用 【解析事例3】
解析事例３ ┃ 垂直色分離型センサー
解析対象の原理
- 垂直色分離センサーの原理図です。
- 光の３原色(青、緑、赤)の基板侵入深さの違いを利用して、色分離を実現します。
光波シミュレーションの計算モデル
- 垂直色分離センサーの光波シミュレーションのための計算モデルです。
- Si基板の上方から、青、緑、赤の光をそれぞれ照射します。
- 強度分布はガウス分布としています。
計算結果
光の伝搬（電界の時系列データ）
- 計算結果として、光の伝搬の様子を電界の時系列データのアニメーションで表示しています。
- 左は青色光、中央は緑色光、右は赤色光です。
光の吸収分布（定常値）
- 計算結果として、光の吸収分布を表示しています。
- 左は青色光、中央は緑色光、右は赤色光です。
- これらの結果をAdvance/TCADに入力し、光電変換(光吸収量－電子正孔対発生量変換)を行います。
デバイス・シミュレーションの計算モデル
- 青、緑、赤の各色の光電流を取り出すための電極を設定します。
計算結果
Si内部の電流密度と発生した光電流
電極に発生した光電流（相対値）
- Advance/TCADによるデバイスシミュレーションの計算結果です。
- 各色ごとのSi内部の電流密度と、各電極に発生する光電流を表示しています。